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CVD气化室可以是水溶液吗 什么是CVD法?
何为化学气相沉积(CVD)? CVD是ChemicalVaporDeposition的简称,是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属。如何镀金 镀膜的方法很...
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氮化硅膜的张力和应力 集成电路的制作流程是怎样的?
超高温滤料的特性及特征? 超高温滤料在本书指耐高温超过280℃的工业除尘滤料。1.陶瓷纤维滤料1)技术性能 陶瓷纤维技术性能见表早期的硅铝陶瓷纤维酮传统的纺织和无纺纤维一样做成滤料。20世纪70年代研制出陶瓷纺织纤维,纤维成分含铝、硼和硅。...
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化学气相合成法指的是什么呢? 常用的化学气相氧化物成膜
金属氧化物化学气相沉积危险性大不大 1,首先你需要一台化学气相沉积机台,常见的有牛津的PECVD几台。2,药品的话主要是一切特殊气体,如硅烷,氮气,氨气,氧气,笑气,氟化碳气体等。3,试验步骤建议使用田口的DOE实验法,这样你可以省去一些不...