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氮化硅膜的张力和应力 集成电路的制作流程是怎样的?

2020-10-03知识7

超高温滤料的特性及特征? 超高温滤料在本书指耐高温超过280℃的工业除尘滤料。1.陶瓷纤维滤料1)技术性能 陶瓷纤维技术性能见表早期的硅铝陶瓷纤维酮传统的纺织和无纺纤维一样做成滤料。20世纪70年代研制出陶瓷纺织纤维,纤维成分含铝、硼和硅。经过近30年的不断改进,其新一代陶瓷纺织纤维滤袋可承受近800℃的高温。目前,陶瓷纺织纤维滤袋已在许多高温烟气净化中使用。尽管陶瓷纺织纤维滤袋在性能上有很大改进,但这种陶瓷滤料的最大问题是纤维很脆,易断。2)制造方法①化学气相反应(CVR)法。它是以B2O3为原料,经熔纺制成B2O3在于较低浓度氨气中加热,使B2O3与氨气反应生成硼氨中间化合物,再将这种晶型不稳定的纤维在张力下进一步在氨气或氨气与氮的混合气中加热至1800℃,使之转换为BN纤维,其强度可高达2.1GPa,模量345GPa。②化学气相沉积(CVD)法。即将钨芯硼纤维氮化而成,首先将硼纤维加热至560℃进行氧化,再将氧化纤维置于氨中加热至1000-1400℃,反应约6h即可制得BN纤维。③有机前躯体法。由聚硼氮烷熔融纺丝制成纤维后,进行交联,生产不熔化的纤维,再经裂解制成纤维。Si3N4纤维有两种制法:一是以氯硅烷和六甲基二硅氮为起始原料,先合成稳定的氢化聚硅氮烷,经熔融。

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氮化硅的合成方法 六方 β-Si3N4 可在1300-1400℃的条件下用单质硅和氮气直接进行化合反应得到 氮化硅:3 Si(s)+2 N2(g)→Si3N4(s)也可用二亚胺合成 SiCl4(l)+6 NH3(g)→Si(NH)2(s)+4 NH4Cl。

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特种陶瓷的制作工艺 特种陶瓷成形方法有很多种,生产中应根据制品的形状选择成形方法,而不同的成形方法需选用的结合剂不同。常见陶瓷成形方法、结合剂种类及用量如下所示:特种陶瓷成形方法、结合剂种类和用量成形方法 结合剂举例;结合剂用量(质量%)千压法聚乙烯醇缩丁醛等 1~5浇注法 丙烯基树脂类 1~3挤压法 甲基纤维素等 5~15注射法 聚丙烯等 10~25等静压法 聚羧酸铵等 0~3结合剂可分为润滑剂、增塑剂、分散剂、表面活性剂(具有分散剂和润滑功能)等,为满足成形需要,通常采用多种有机材料的组合。选择结合剂,要考虑以下因素:1)结合剂能被粉料润湿是必要条件。当粉料的临界表面张力(yoc)或表面自由能(yos)比结合剂的表面张力(yoc)大时,才能很好地润湿。2)好的结合剂易于被粉料充分润湿,且内聚力大。当结合剂被粉料润湿时,在相互分子间发生引力作用,结合剂与粉料间发生红结合(一次结合),同时,在结合剂分子内,由于取向、诱导、分散效果而产生内聚力(二次结合)。虽然水也能把杨料充分润湿,但水易挥发,分子量较小,内聚力小,不是好的结合剂。按各种有机材料内聚力大小顺序,用基表示可排列如下:一CONH一>;;CONH2>;;一COOH>;;一OH>;;NO2>;;COOC2。

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