薄膜厚度只能用椭圆偏振光谱测吗 大于0.5m时.这种技术工作良好.然而对于32 nm节点.材料的厚度预计只有100nm的.出来用于测量金属薄膜的密度.它 利用激光器将一个弱的脉冲打到薄膜上从而产 生
一般比较薄的薄膜的厚度单位是什么？
椭圆偏振法测薄膜厚度测量时，投射到样品的入射光的入射角是多少度 椭圆偏振反射测试膜厚区别选用Si3N4薄膜Zr O薄膜两种光材料作测试象研究椭圆偏振测量薄膜厚度精度实验结表明，椭圆偏振精度较高，于数量级几十nm光薄
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