椭圆偏振仪测薄膜液相厚度 椭圆偏振法测薄膜厚度测量时，投射到样品的入射光的入射角是多少度

薄膜厚度只能用椭圆偏振光谱测吗 大于0.5m时.这种技术工作良好.然而对于32 nm节点.材料的厚度预计只有100nm的.出来用于测量金属薄膜的密度.它 利用激光器将一个弱的脉冲打到薄膜上从而产 生一般比较薄的薄膜的厚度单位是什么？ 椭圆偏...