四氟化碳 与硅和二氧化硅的反应 越详细越好 氟化胺可以刻蚀掉二氧化硅吗

四氟化碳与硅和二氧化硅的反应有毒吗，对人体有医学吗，等离子刻蚀机的辐射大吗？ 苏州硅时代电子科技有限公司（Si-Era），位于国内最的大的MEMS产业集聚区—苏州纳米城。利用M氢氟酸和二氧化硅反应，玻璃是硅酸盐，氢氟酸怎么刻蚀啊？ 氢氟酸酸...