四氟化碳与硅和二氧化硅的反应有毒吗，对人体有医学吗，等离子刻蚀机的辐射大吗？ 苏州硅时代电子科技有限公司（Si-Era），位于国内最的大的MEMS产业集聚区—苏州纳米城。利用M
氢氟酸和二氧化硅反应，玻璃是硅酸盐，氢氟酸怎么刻蚀啊？ 氢氟酸酸和二氧化硅 匿名用户 8级 2013-02-23 回答 氢氟酸酸和二氧化硅 产物不是硅酸盐，而是水和四氟化硅（SiF4）这种东西比较特殊，是气体。追问： 。
四氟化碳对人体有什么危害 你好，楼主：【四氟化碳和氧气在高温下不反应】四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。危害性概述危险性类别：GB2.2 类不燃气体 侵入途径：吸入 健康危害：吸入高浓度的四氟化碳出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。
