老铁们，我想问问！！氮化硅干法刻蚀，用CHF3气体，反应是咋样的。。。？ 四氟化碳等离子刻蚀氮化硅

有谁能回复一下吗 等离子刻蚀是什么意思？工艺技术是什么？ 等离子刻蚀也叫干法刻蚀，主要是刻断PN结的，就是用高能等离子体和四氟化碳来腐蚀硅片！苏州硅时四氟化碳瓶可以装氧气吗？谢谢 四氟化碳具有急性毒性，所以四氟化碳瓶不可以装氧气。四氟化碳既...