急！！！！磁控溅射，我的靶 电流加不上去， 磁控溅射电流异常

急！！！！磁控溅射，我的靶 电流加不上去， 真空金属溅镀。估计在里从事过源这方面工作的真的极少真空是0.5？百哪个数量级的？1、真空度2、真空室是否洁净3、靶材质量问题4、电压是多少？通常加大的不是电流值度，而是功率！5、冷却水温度过低，导...