mems芯片封装产业发展 MEMS加速度计与外壳体怎么封装

MEMS加速度计与外壳体怎么封装 高量程MEMS加速度传感器是测量高冲击过程的核心器件。由于加速度很高(几万g～几十万g)，封装成为器件制造的难点与器件可靠性的关键所在。本论文对一种先进的高量程双悬臂梁。MEMS芯片加工涉及到的工艺及设备都...