MEMS加速度计与外壳体怎么封装 高量程MEMS加速度传感器是测量高冲击过程的核心器件。由于加速度很高(几万g～几十万g)，封装成为器件制造的难点与器件可靠性的关键所在。本论文对一种先进的高量程双悬臂梁。
MEMS芯片加工涉及到的工艺及设备都有哪些？ MEMSMicro-Electro-Mechanical SystemME MEMS Micro-Electro-Mechanical System MEMS传感器可以理解为采用微加工工艺制作的传感器 微加工工艺的定义请另行搜索微纳。
MEMS 未来20年在国内的发展潜力怎样？ http：// business.sohu.com/20091 104/n267954212.shtml 但是MEMS技术的行业门槛比较高，国内几乎就没有一流的Fab，大多数大学的研究也主要是进行前段的模拟设计研究，只有。
