跪求用椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率的实验数据 椭圆偏振测原仪测薄膜厚度实验报告

如何测量薄膜的厚度 薄膜厚度是否均匀一致是检测薄膜各项性能的基础。很显然，倘若一批单层薄膜厚度不均匀，不但影响到薄膜各处的拉伸强度、阻隔性等，更会影响薄膜的后续加工。对于复合薄膜，厚度的均匀性更加重要。薄膜的厚度测量是薄膜制造业的基础检测项...