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跪求用椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率的实验数据 椭圆偏振测原仪测薄膜厚度实验报告

2021-04-26知识2

如何测量薄膜的厚度 薄膜厚度是否均匀一致是检测薄膜各项性能的基础。很显然,倘若一批单层薄膜厚度不均匀,不但影响到薄膜各处的拉伸强度、阻隔性等,更会影响薄膜的后续加工。对于复合薄膜,厚度的均匀性更加重要。薄膜的厚度测量是薄膜制造业的基础检测项目之一。目前测量薄膜的厚度的方法有在线测厚和非在线测厚在线测厚较为常见的在线测厚技术有β射线技术,X射线技术和近红外技术。β射线技术是最先应用于在线测厚技术上的射线技术。在上世纪60年代就已经广泛用于超薄薄膜的在线厚度测量了。它对于测量物没有要求,但β传感器对温度和大气压的变化、以及薄膜上下波动敏感,设备对于辐射保护装置要求很高,而且信号源更换费用昂贵,Pm147源可以用5-6年,Kr85源可用10年,更换费用均在6000美元左右。X射线技术这种技术极少为塑料薄膜生产线所采用。X光管寿命短,更换费用昂贵,一般可用2-3年,更换费用在5000美元左右,而且不适用于测量多种元素构成的聚合物,信号源发射性强。X射线技术常用于钢板等单一元素的测量。近红外技术近红外技术在在线测厚领域的应用曾受到条纹干涉现象的影响,但现在近红外技术已经突破了条纹干涉现象对于超薄薄膜厚度测量的限制,完全可以进行多层。

椭圆偏振技术的简介

大学物理实验.迈克尔逊干涉仪测激光波长思考题谁知道? 1、迈克尔逊干涉仪是利用光的反射和透射,利用分振幅法产生双光束以实现干涉.通过调整该干涉仪,可以产生等厚干涉条纹,也可以产生等倾干涉条纹.主要用于长度和折射率的测量.2、薄膜的厚度e的变化会使场点对应的光程差发生变化,引起光程差变化,从而导致干涉条纹发生移动.

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