请问 coating 在生产工艺中是什么意思 ？ 有哪些分类，谢谢。 钝化层用氧化硅

硅片RCA清洗工艺中，氟化氢HF的氢钝化机理 线切割损伤层厚度可达10微米左右。一般采用20%的碱溶液在90℃条件腐蚀0.5～1min以达到去除损伤层的效果，此时的腐蚀速率可达到6～10ummin。初抛时间在达到去除损伤层的基础上尽量减短，...