什么是扩散炉?它有什么用处? 硅片表面氧化层

单晶硅片和多晶硅片的表面硬度是多少？ 当接触深度在20～32nm左右时，单晶硅片的接触刚度与接触深度成直线关系，硬度和弹性模量基本保持不变，此时所测得的是单晶硅片表面氧化层的硬度和弹性模量，分别约为10.2 GPa和。如何清洗硅片 清洗方法...