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固溶体和金属化合物在结构和性能上有什么主要差别 超晶格工艺
外延生长的工艺进展 为了克服外延工艺中的某些缺点,外延生长工艺已有很多新的进展。①减压外延:自掺杂现象是使用卤素化合物作源的外延过程中难以避免的现象,即从基片背面、加热体表面以及。芯片最小能做到多少纳米,达到极限后,该如何突破瓶颈?目前,手...
外延生长的工艺进展 为了克服外延工艺中的某些缺点,外延生长工艺已有很多新的进展。①减压外延:自掺杂现象是使用卤素化合物作源的外延过程中难以避免的现象,即从基片背面、加热体表面以及。芯片最小能做到多少纳米,达到极限后,该如何突破瓶颈?目前,手...