气化法生产硅粉 常用的传统生产法是哪几种？

常用的传统生产法是哪几种？ 多晶硅的传统生产方法虽多，但常用的不多，仅有三氯氢硅（SiHCl3）氢还原法、四氣化硅（SiCU）氢还原法和硅烷（SiH4）裂解法三种。（1）三氣氢硅氢还原法。此法是德国。现今的硅生产工艺还存在哪些不足？ 现今硅...