气化法生产硅粉常用的传统生产法是哪几种？

2021-04-08知识13

常用的传统生产法是哪几种？多晶硅的传统生产方法虽多，但常用的不多，仅有三氯氢硅（SiHCl3）氢还原法、四氣化硅（SiCU）氢还原法和硅烷（SiH4）裂解法三种。（1）三氣氢硅氢还原法。此法是德国。

现今的硅生产工艺还存在哪些不足？现今硅生产工艺采取的是“三步法”，也就是说，硅是分三个阶段生产的：第一阶段是将最原始的石英砂，也就是二氧化硅（Si02）变成工业硅（Si）；第二阶段是对工业硅进行提纯。