多氟多核心产品是什么？ 四氟化硅生产流程

硅烷法的金属氢化物工艺 采用氢化铝钠与四氟化硅气体反应合成硅烷气体，化学反应如下：NaALH4+SiF4—>；NaALF4+SiH4反应生产的粗硅烷气体经吸附塔、脱重塔和脱轻塔纯化精制，把粗硅烷气体纯度提升到6N 以上的高纯度电子级硅...