硅烷法的金属氢化物工艺 采用氢化铝钠与四氟化硅气体反应合成硅烷气体，化学反应如下：NaALH4+SiF4—>；NaALF4+SiH4反应生产的粗硅烷气体经吸附塔、脱重塔和脱轻塔纯化精制，把粗硅烷气体纯度提升到6N 以上的高纯度电子级硅烷气体，再经过低温液化处理制得的液态硅烷储存在产品硅烷储槽内，通过蒸发液态的硅烷气体变成常温的硅烷气体供硅烷还原多晶硅工段使用。以上反应中使用的四氟化硅气体利用化肥企业的副产物氟硅酸制得或用其它方法制得。美国MEMC 公司采用该方法已经大规模生产多晶硅，技术已经很成熟，已经在20 年前用于年产千吨级以上的多晶硅生产线上。
氟硅酸钠是怎样生产的？氟硅酸钠的生产方法是什么？基本信息：中文名称 氟硅酸钠中文别名 英文名称 sodium hexafluorosilicate英文别名 Sodium hexafluorosilicate；。
什么企业用四氟化碳和六氟化硫.具体的 六氟化硫用途六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，被广泛应用于电器工业，如：断路器、高压开关、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。。
