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原子层沉积的应用 ald 前驱体 氧化铝
原子层沉积的应用 原子层沉积技术由于其沉积参数的高度可控型(厚度、成份和结构)原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD),最初称为原子层外延(Atomic Layer Epitaxy,ALE),也称为原子层化学气相...
原子层沉积的应用 原子层沉积技术由于其沉积参数的高度可控型(厚度、成份和结构)原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD),最初称为原子层外延(Atomic Layer Epitaxy,ALE),也称为原子层化学气相...