ZKX's LAB

原子层沉积的应用 ald 前驱体 氧化铝

2021-04-05知识1

原子层沉积的应用 原子层沉积技术由于其沉积参数的高度可控型(厚度、成份和结构)原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD),最初称为原子层外延(Atomic Layer Epitaxy,ALE),也称为原子层化学气相沉积(Atomic Layer Chemical Vapor Deposition,ALCVD)。原子层沉积是在一个加热反应器中的衬底上连续引入至少两种气相前驱体物种,化学吸附的过程直至表面饱和时就自动终止,适当的过程温度阻碍了分子在表面的物理吸附。目前可以沉积的材料包括:氧化物,氮化物,氟化物,金属,碳化物,复合结构,硫化物,纳米薄层等。中空纳米管,隧道势垒层,光电电池性能的提高,纳米孔道尺寸的控制,高高宽比纳米图形,微机电系统(MEMS)的反静态阻力涂层和疏水涂层的种子层,纳米晶体,ZnSe涂层,纳米结构,中空纳米碗,存储硅量子点涂层,纳米颗粒的涂层,纳米孔内部的涂层,纳米线的涂层。上述领域并不代表原子层沉积技术的所有可能应用领域,随着科技的发展在不远的将来将会发现其越来越多的应用。根据该技术的反应原理特征,各类不同的材料都可以沉积出来。已经沉积的材料包括金属、氧化物、碳(氮、硫、硅)化物、各类半导体材料和超导材料等。现在原子层沉积系统有国际品牌和自主。

高镍三元材料电压是多少伏? 国际上普遍称呼三元材料为62616964757a686964616fe4b893e5b19e31333365643564NMC。但是国内出于发音的习惯一般称为镍钴猛(NCM),这样就带来了三元材料型号的误解,因为三元材料的名称比如333、442、532、622、811等都是以NMC的顺序来命名的。而BASF则是因为购买了美国阿贡国家实验室(ANL)的相关专利,为了显示自己与3M的“与众不同”并且拓展中国市场,而故意称三元材料为NCM。三元材料(NMC)实际上是综合了LiCoO2、LiNiO2和LiMnO2三种材料的优点,由于NiCo和Mn之间存在明显的协同效应,因此NMC的性能好于单一组分层状正极材料,而被认为是最有应用前景的新型正极材料之一。三种元素对材料电化学性能的影响也不一样,一般而言,Co能有效稳定三元材料的层状结构并抑制阳离子混排,提高材料的电子导电性和改善循环性能。但是Co比例的增大导致晶胞参数a和c减小且c/a增大,导致容量降低。而Mn的存在能降低成本和改善材料的结构稳定性和安全性,但是过高的Mn含量将会降低材料克容量,并且容易产生尖晶石相而破坏材料的层状结构。Ni的存在使晶胞参数c和a增大且使c/a减小,有助于提高容量。但是Ni含量过高将会与Li+产生混排效应而导致循环性能和倍率性能恶化,而且高镍材料。

2018年半导体存储器材料行业分析报告 试读结束,如需阅读或下载,请点击购买>;原发布者:陈秋喜2018年半导体存储器材料2113行业分析报告2018年5月目录一、5261存储4102器国产化投入加大,大容量存储即将进入量产元年51、我1653国半导体芯片受制于人,大容量存储迎来突破52、存储器推动半导体销售额高增,市场主要被日韩垄断83、3D NAND Flash优势突出,逐步加快对2D NAND替代10二、大容量存储对应高深宽比制造要求,ALD沉积工艺更具优势141、ALD沉积薄膜具有更高的均匀性和台阶覆盖能力142、ALD工艺在高深宽比制造中更具优势17三、存储产业驱动前驱体市场不断扩大,3D结构刺激需求增长20四、雅克科技:全资控股UP Chemical填补国内半导体前驱体空白,将迎来加速发展221、SOD产品252、高介电常数(High-K)前驱体产品253、氧化硅及氮化硅前驱体产品264、金属及金属氮化物前驱体产品26我国半导体芯片受制于人,大容量存储迎来突破。2017年我国集成电路市场规模达到1.67万亿元,同比增长17.5%,但是国内集成电路市场主要依赖进口,进口额达到2601亿美元,贸易逆差达到1932亿美元。作为使用最为普遍的一种高端通用芯片,存储器在集成电路细分市场中规模居首。由于越来越多经济、社会、科技、军事等信息和资源被存储器。

#ald 前驱体 氧化铝

随机阅读

qrcode
访问手机版