常用的cvd氧化物成膜系统 CVD（化学气相沉积）的原理及应用是什么

VD技术主要制备哪些功能材料？对使用的基底（衬底）有哪些基本要求？ CVD技术是化学气相沉积Chemical Vapor Deposition的缩写。化学气相沉积乃是通过化学反应的方式，利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源，在反应器内使气...