求问，什么是RCA清洗 【RCA清洗】方法：清洗的一般思路是首先去除硅片zd表面的有机沾污，因为有机物会遮盖部分硅片表面，从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除；然后溶解氧化膜，因为氧化层是“沾污陷阱”，也会引入外延缺陷；最后再去除颗粒、内金...
