请问有人知道多晶硅的工艺指标吗？ 下面介绍几种生产多晶硅的工艺，但我国使用最多的工艺方法是“改良西门子法”。（1）改良西门子法――闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯...
