真空状态下等离子除油 PVD就是电镀吗？

等离子体刻蚀机台用的真空泵该如何保养？ 白色结晶物的成分应该复杂一些，四氟化碳电离后和基片的混合物，再经氧化，再加上到达泵口的大气反应，再加上油分子反应。大概是这意思，我说的不一定对，但，应该有毒或是腐蚀性，不要直接接触。泵的保养么。有条件...