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真空状态下等离子除油 PVD就是电镀吗?

2021-03-09知识2

等离子体刻蚀机台用的真空泵该如何保养? 白色结晶物的成分应该复杂一些,四氟化碳电离后和基片的混合物,再经氧化,再加上到达泵口的大气反应,再加上油分子反应。大概是这意思,我说的不一定对,但,应该有毒或是腐蚀性,不要直接接触。泵的保养么。有条件的换成干泵,可以基本免维护就选片泵来说,出气口管道要密封性好,避免与大气反应,出口管道要做横向弯曲设计,以防止回流。保养不一定非要解体,热泵状态下,可以用少量新油洗一洗泵,再换油。方法很多。是做半导体晶片的?

真空状态下等离子除油 PVD就是电镀吗?

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PVD就是电镀吗?

#真空状态下等离子除油

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