齐鲁网·闪电新闻9月1日讯日前，在山东有研半导体材料有限公司《集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目》的直拉硅单晶生产车间里，山东省首根八英寸集成电路用八英寸直拉硅单晶拉制成功，标志着这一省重大项目的建设进入了一个新的阶段。
“单晶生长的工艺非常复杂，一根单晶的全部生长周期通常需要三天左右，对外部水、电和氩气等动力条件的供应稳定性甚至地面震动幅度的要求都很苛刻， 母公司有研半导体在北京的工厂以前进行单晶生长时会出现液面不稳定而造成单晶断棱出现位错的情况，而这次在德州的新工厂单晶是一次性拉制成功，整个过程也是印证了我们这个厂房的建设达到了一个非常好的水准。”公司副总经理刘斌介绍说。
为了保证硅材料的生产质量，硅片加工工序的部分车间的洁净度达到了一级标准，在项目的硅单晶抛光片生产车间，试生产的硅抛光片样品将被陆续送往下游厂家进行验证，验证合格后将进入规模化量产。
“能够这么顺利，离不开当地政府对我们的高效率支持；水电气这些基础设施，在我们项目还没有进行厂区内部管网与外部供应点连接前，各供应单位就已经把外部管路建设到位，各项服务都走在了前面。这次试生产成功让我们对企业的未来充满信心！”公司总工程师肖清华说。
该山东有研项目是德州承接北京高新技术产业转移的省级重点项目，投资18亿元人民币，建筑面积约10万平方米，项目建成投产后，将成为北方最大的半导体材料生产基地。目前，一期项目正进行收尾，130余台套工艺设备陆续进场，部分工艺设备将进入试运行阶段；二期12英寸硅片规模化生产项目也在积极筹备，计划明年开工建设。
马丽萍 牟玉秋
