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硅片清洗剂有什么作用? 氧化层硅片 清洗

2021-04-28知识17

清洗好的硅片需要立即作氧化氮化吗 清洗好的硅片需要立即作氧化氮化气体渗氮(或软氮化)后直接在炉内做后氧化工艺,是国外常用的一种工艺方法,可得到均匀的1-3微米厚度的氧化层,零件外观是均匀的灰黑色,非常漂亮,成倍提高零件耐腐蚀性能,不需要像楼主说的那样,做完渗氮冷到室温后再进行酸洗、氧化,能够避免酸洗工序带来的各种不良影响。氧化色的出现,两种情况:一是氮化过程中氧化,二是冷却过程中氧化。从描述中所说:金相检验氧化色处没有白亮层,这一点来看,应不是冷却过程中造成的吧。

太阳能硅片在清洗的过程中怎样防止氧化? 一般硅片清洗是氢氟酸泡去氧化层,然后用除过氧的水清洗。太阳能硅片不知道有没有不同。

硅片清洗剂有什么作用? 硅片清洗剂广泛应用于光伏,电子等行业硅片清洗;由于硅片在运输过程中会有所污染,表面洁净度不是很高,对即将进行的腐蚀与刻蚀产生很大的影响,所以首先要对硅片表面进行一系列的清洗操作。清洗的一般思路首先是去除表面的有机沾污,然后溶解氧化膜,因为氧化层是“沾污陷进”,会引起外延缺陷;再去除颗粒、金属等,同时使硅片的表面钝化。多采用传统的RCA清洗方法,不仅可以去除硅片表面的金属、有机物等,还可以去除小颗粒等污染物。清洗工艺编辑2.1RCA清洗法RCA清洗法又称工业标准湿法清洗工艺,是由美国无线电公司(RCA)的Kem和Puotinen等人于20世纪60年代提出后,由此得名。RCA湿法清洗由两种不同的化学溶液组成,主要洗液成分见表2.1,表2.2,表2.3。SPM具有很高的金属氧化能力,可将金属氧化后溶于清洗液中,并能将有机物氧化生成二氧化碳和水。用SPM清洗硅片可以去除表面的种有机沾污和部分金属,当沾污特别严重时,难以去除干净。DHF(HF),可以去除硅片表面的自然氧化膜,同时抑制氧化膜的形成。易去除硅表面的Al、Fe、Zn、Ni等金属,也可以去除自然氧化膜上的氢氧化物。在自然那氧化膜被腐蚀掉时,硅片几乎不被腐蚀。SC-1清洗液是能去除颗粒和有机。

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