硅的气态氢化物是什么.有什么特性 甲硅烷（Silane）化学式 SiH4分子量 32.12CAS登录号 7803-62-5熔 点-185.0℃沸 点-111.9℃溶于水密 度 1.44g/L(0℃，1bar)硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。
硅元素的气态氢化物的化学式 硅其实有许多气态氢化物，大部分与碳元素一样，只是某些较少的碳原子的化合物还未制成，而且化合物中无双键
硅的气态氢化物是什么. SiH4
