单晶炉一般是怎么冷却的。 你是指哪部份冷却？你是指哪部份冷却？1.生产过程中单晶炉靠水冷带走温度冷却，也是我们常说的循环水～2.停炉后的冷却，是靠Ar气带走温度，自然冷却～
单晶炉一般是怎么冷却的。 是指哪部份冷却？1，也是我们常说的循环水～2.生产过程中单晶炉靠水冷带走温度冷却
单晶炉什么东西 单晶炉是一2113种在惰性气体（氮气、氦气为主5261）环境中，用石墨加4102热器将多晶硅等多1653晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉的构成：1、提拉头：主要由安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成2、副室：主要是副室筒以及上下法兰组成3、炉盖：副室连接法兰、翻板阀、观察窗、抽真空管道组成4、炉筒：包括取光孔。5、下炉筒：包括抽真空管道。6、底座机架：全铸铁机架和底座。7、坩埚下传动装置：主要由磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成。8、分水器已经水路布置：包括分水器、进水水管、若干胶管、水管卡套等。9、氩气管道布置：质量流量计、3根以上的柔性管、不锈钢管、3个压力探测器、高密封性卡套等部件。10、真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道、硬波纹管等。11、电源以及电控柜：电源柜、滤波柜、控制柜、以及连接线。
