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超晶格的周期厚度 超薄层材料超晶格有什么特点?

2021-04-24知识1

超晶格的定义 可见,超晶格材料是两种不同组元以几个纳米到几十个纳米的薄层交替生长并保持严格周期性的多层膜,事实上就是特定形式的层状精细复合材料。

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什么是超晶格材料? 所谓超晶格,就是指由两种不同的半导体薄层交替排列所组成的周期列阵。如镓铝砷/镓砷、锗—硅/硅等超晶格材料,是制备半导体光电子学、光子学材料和器件的重要技术,研究的人员很多,各国投入的财力也很大。利用超晶格多层结构制备“弹道晶体管”和“高电子迁移率晶体管”是超晶格具体运用的例证。人们曾试想把弹道晶体管设计成这样:让电子在垂直或平行于薄膜平面的方向上作弹道运动,这样制作出来的晶体管既快速又十分紧凑;把高电子迁移率晶体管设计成这样:通过调整超晶格各层的成分和结构,使载流子从有缺陷层进入晶格完美层,在此完美层中,迁移率大的电子高度集中,因而可提高器件的开关速度。我国在这一领域的研究与国外相比,差距甚大。

#超晶格的周期厚度

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