椭圆偏正光法测薄膜厚度
等幅椭偏光和圆偏振光有啥区别么? 楼上两位都不正确,但是一楼实在错的离谱.等幅椭偏光是P分量与S分量的振幅相等的情况.书上就说此处振幅相等的P分量与S分量合成的光是等幅椭偏光.但不能因为P与S分量振幅垂直且相等就认为其是圆偏振光,这是因为入射光的偏振态是由P分量与S分量的振幅比以及相位差决定的.
椭圆偏振技术的简介 分析自样品反射之极化光的改变,椭圆偏振技术可得到膜厚比探测光本身波长更短的薄膜资讯,小至一个单原子层,甚至更小。椭圆仪可测得复数折射率或介电函数张量,可以此获得基本的物理参数,并且这与各种样品的性质,包括形态、晶体质量、化学成分或导电性,有所关联。它常被用来鉴定单层或多层堆叠的薄膜厚度,可量测厚度由数埃(Angstrom)或数奈米到几微米皆有极佳的准确性。之所以命名为椭圆偏振,是因为一般大部分的极化多是椭圆的。此技术已发展近百年,现在已有许多标准化的应用。然而,椭圆偏振技术对于在其他学科如生物学和医学领域引起研究人员的兴趣,并带来新的挑战。例如以此测量不稳定的液体表面和显微成像。1 基本原理 2 实验细节 2.1 实验装置 2.2 数据搜集 2.3 数据分析 3 定义 3.1 单波长 与 光谱 椭圆偏振技术 3.2 标准 与 广义 椭圆偏振理论(非等向性)3.3 琼斯矩阵 与 穆勒矩阵 型式(去偏极化)4 进阶实验方法 4.1 椭圆偏振成像 4.2 原位椭圆偏振 4.3 椭圆偏振孔隙测定 4.4 磁光广义椭圆偏振 5 优势