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大直径硅晶片化学机械抛光及其终点检测技术的研究与应用 磨粒在线监测装置及其试验研究

2021-04-23知识8

大直径硅晶片化学机械抛光及其终点检测技术的研究与应用 罗余庆,康仁科,郭东明,金洙吉摘要:化学机械抛光是硅片全局平坦化的核心技术,然而在实用阶段上,这项技术还受限于一些制造系统整合上的问题,其中有效的终点检测系统是。

磨粒磨损试验机的标准检测过程一般是如何操作的? 磨粒磨损试验机一般采用滑动摩擦的形式评定工程塑料、粉末冶金、合金轴承等的百使用性能。标准检测过程如下:一、主轴及驱动系统:主轴箱安装在机座上,主轴由一组轴承支承,具有很高的旋转精度。主轴后部度和电动机连接。二、砝码加荷系统:在机座右半边是砝码加荷系统,可对主轴上的试样施加最大为200N的径向负荷。三、试样装夹部分:问内试样用M20*2的螺母紧固在主轴前端1:7的锥面上,外试样压紧固定在加力杆的外试样卡槽内。四、试验力:试验力的施加与卸除由加荷系统来完答成,大小通过加载专砝码来完成,加载杠杆分等臂砝码盘和二倍臂发码盘,砝码分为1N、2N、5N、10N、20N、50N六种,这样就实现了在1-200N的范围内整数的无极加载。五、转速、时间和温度:1.液晶屏显示主轴转速和实验时间;2.转速的调整、设置操作请参阅变频调速器的使用说明书;3.试验时间的控制由仪表完成,利用拨盘可预置试验时间,时间到后会报警并停属机保护;4.仪表显示在试验过程中试样温度的变化。

水泵运行的故障诊断及故障报警有哪些 天津奥特泵业 牛经理潜水泵常见故障及解决方法1 潜水泵运转有异常振动、不稳32313133353236313431303231363533e4b893e5b19e31333363373161定1.1 水泵运转有异常振动、不稳定,其主要原因:(1)水泵底座地脚螺栓未拧紧或松动;(2)出水管路没有加独立支撑,管道振动影响到水泵上;(3)叶轮质量不平衡甚至损坏或安装松动;(4)水泵上下轴承损坏。1.2 排除措施(1)均匀拧紧所有地脚螺栓;(2)对水泵的出水管道设独立稳固的支撑,不让水泵的出水管法兰承重;(3)修理或更换叶轮;(4)更换水泵的上下轴承。2 潜水泵不出水或流量不足2.1 潜水泵在运行过程中常出现流量不足或不出水,其主要原因:(1)水泵安装高度过高,使得叶轮浸没深度不够,导致水泵出水量下降;(2)水泵转向相反;(3)出水阀门不能打开;(4)出水管路不畅通或叶轮被堵塞;(5)水泵下端耐磨圈磨损严重或被杂物堵塞;(6)抽送液体密度过大或粘度过高;(7)叶轮脱落或损坏;(8)多台水泵共用管路输出时,没有安装单向阀门或单向阀门密封不严。2.2 排除措施(1)控制水泵安装标高的允许偏差,不可随意扩大;(2)水泵试运转前先空转电动机,核对转向使之与水泵一致。使用过程中出现上述情况应检查电源相序是否改变;(3)。

#磨粒在线监测装置及其试验研究

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