大直径硅晶片化学机械抛光及其终点检测技术的研究与应用 罗余庆，康仁科，郭东明，金洙吉摘要：化学机械抛光是硅片全局平坦化的核心技术，然而在实用阶段上，这项技术还受限于一些制造系统整合上的问题，其中有效的终点检测系统是。
磨粒磨损试验机的标准检测过程一般是如何操作的？ 磨粒磨损试验机一般采用滑动摩擦的形式评定工程塑料、粉末冶金、合金轴承等的百使用性能。标准检测过程如下：一、主轴及驱动系统：主轴箱安装在机座上，主轴由一组轴承支承，具有很高的旋转精度。主轴后部度和电动机连接。二、砝码加荷系统：在机座右半边是砝码加荷系统，可对主轴上的试样施加最大为200N的径向负荷。三、试样装夹部分：问内试样用M20＊2的螺母紧固在主轴前端1：7的锥面上，外试样压紧固定在加力杆的外试样卡槽内。四、试验力：试验力的施加与卸除由加荷系统来完答成，大小通过加载专砝码来完成，加载杠杆分等臂砝码盘和二倍臂发码盘，砝码分为1N、2N、5N、10N、20N、50N六种，这样就实现了在1-200N的范围内整数的无极加载。五、转速、时间和温度：1.液晶屏显示主轴转速和实验时间；2.转速的调整、设置操作请参阅变频调速器的使用说明书；3.试验时间的控制由仪表完成，利用拨盘可预置试验时间，时间到后会报警并停属机保护；4.仪表显示在试验过程中试样温度的变化。
水泵运行的故障诊断及故障报警有哪些 天津奥特泵业 牛经理潜水泵常见故障及解决方法1 潜水泵运转有异常振动、不稳32313133353236313431303231363533e4b893e5b19e31333363373161定1.1 水泵运转有异常振动、不稳定，其主要原因：(1)水泵底座地脚螺栓未拧紧或松动；(2)出水管路没有加独立支撑，管道振动影响到水泵上；(3)叶轮质量不平衡甚至损坏或安装松动；(4)水泵上下轴承损坏。1.2 排除措施(1)均匀拧紧所有地脚螺栓；(2)对水泵的出水管道设独立稳固的支撑，不让水泵的出水管法兰承重；(3)修理或更换叶轮；(4)更换水泵的上下轴承。2 潜水泵不出水或流量不足2.1 潜水泵在运行过程中常出现流量不足或不出水，其主要原因：(1)水泵安装高度过高，使得叶轮浸没深度不够，导致水泵出水量下降；(2)水泵转向相反；(3)出水阀门不能打开；(4)出水管路不畅通或叶轮被堵塞；(5)水泵下端耐磨圈磨损严重或被杂物堵塞；(6)抽送液体密度过大或粘度过高；(7)叶轮脱落或损坏；(8)多台水泵共用管路输出时，没有安装单向阀门或单向阀门密封不严。2.2 排除措施(1)控制水泵安装标高的允许偏差，不可随意扩大；(2)水泵试运转前先空转电动机，核对转向使之与水泵一致。使用过程中出现上述情况应检查电源相序是否改变；(3)。
