PECVD工作原理是什么？ 1PECVD工艺的基本原理PECVD技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上（即样品放置的托盘）产生辉光放电，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。其工艺原理示意图如图1所示。在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜。在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在真空泵的作用下从出口排出。2.2PECVD设备的基本结构PECVD设备主要由真空和压力控制系统、淀积系统、气体及流量控制、系统安全保护系统、计算机控制等部分组成。其设备结构框图如图2所示。2.2.1真空和压力控制系统真空和压力控制系统包括机械泵、分子泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、真空计等。为了减少氮e69da5e887aa7a686964616f31333365646262气、氧气以及水蒸气对淀积工艺的影响，真空系统一般。
护士去实习应该注意什么？ 谢谢各位的回答，在实习过程中一定会好好记住这些 1、保护自己！保护自己！保护自己！一定要有很强的自我保护意识，不管你呆的那个科室护士长有多抠门，病人都多和蔼可亲，。
怎么操作三一混凝土泵车：[1]切换到泵送状态，三一重工与中联重科是混凝土机械行业两大巨头，三一泵车与中联泵车的操作是许多混凝土机械从业人士想了解的，今天我为大家分享。
