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硅片清洗去除氧化层用什么 硅片清洗的工艺过程

2021-04-09知识0

清洗好的硅片需要立即作氧化氮化吗 清洗好的硅片需要立即作氧化氮化气体渗氮(或软氮化)后直接在炉内做后氧化工艺,是国外常用的一种工艺方法,可得到均匀的1-3微米厚度的氧化层,零件外观是均匀的灰黑色,非常漂亮,成倍提高零件耐腐蚀性能,不需要像楼主说的那样,做完渗氮冷到室温后再进行酸洗、氧化,能够避免酸洗工序带来的各种不良影响。氧化色的出现,两种情况:一是氮化过程中氧化,二是冷却过程中氧化。从描述中所说:金相检验氧化色处没有白亮层,这一点来看,应不是冷却过程中造成的吧。

在金属朝清洗机中如何去除硅片的有机物 1、硅片晶圆超声波清洗机能清洗硅片。2、硅片晶圆生产清洗工艺中,使用超声波清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元

太阳能硅片在清洗的过程中怎样防止氧化? 一般硅片清洗是氢氟酸泡去氧化层,然后用除过氧的水清洗。太阳能硅片不知道有没有不同。

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