长期的接触氟化氢和四氟化硅会有后遗症吗 会有肺炎的，特别是四氟化硅。
关于硅的化合物的化学反应方程式 Si3N4+12HF=3SiF4+4NH33SiF4+2N2+6H2=Si3N4+12HF
什么工艺会产生四氟化硅和氟化氢？ 我知道的主要是真空镀膜设备，太阳能电极板之类的东西镀膜用，材料很多，但是基本上都是这种对人体十分有害的东西好像还不是产生的废气，算不上，只是使用不完全造成的残留物
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