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半导体压敏电阻式进气压力传感器的结构及工作原理是怎样的?

2021-04-05知识13

半导体压敏电阻式进气压力传感器的结构及工作原理是怎样的? (1)半导体压敏电阻式进气压力传感器的结构半导体压敏电阻式进气压力传感器的结 构如图3-34所示。它是利用半导体的压阻效应制成的,主要由硅膜片、真空室、硅杯、底 座、。

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