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多晶硅还原炉 尾气水冷夹套 和冷氢化分别是指的什么,他们是用的什么反应原理

2021-04-05知识11

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国际上多晶硅 由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同,因此生产工艺技术不同;进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异,各。

高纯多晶硅的制备方法 多晶硅生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子工艺是在传统西门子工艺的基础上,同时具备。

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