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氧化的工艺流程是什么? 栅氧化层的原理有什么作用

2021-04-04知识4

层压机工作原理 层压机工作原理层压机工作原理结构及特点1,工作原理层压机顾名思义就是把多层物质压合在一起的机械设备。真空层压机就是在真空条件下把多层物质进行压合的。

VDMOS工作原理 电力MOSFET的工作原理(N沟道增强型VDMOS)截止:漏源极间加正电源,栅源极间电压为零。P基区与N漂移区之间形成的PN结J1反偏,漏源极之间无电流流过。导电:在栅源极间加正电压UGS当UGS大于UT时,P型半导体反型成N型而成为反型层,该反型层形成N沟道而使PN结J1消失,漏极和源极导电。电力MOSFET的基本特性(1)静态特性漏极电流ID和栅源间电压UGS的关系称为MOSFET的转移特性。ID较大时,ID与UGS的关系近似线性,曲线的斜率定义为跨导Gfs。(2)MOSFET的漏极伏安特性(即输出特性):截止区(对应于GTR的截止区)饱和区(对应于GTR的放大区)非饱和区(对应GTR的饱和区)工作在开关状态,即在截止区和非饱和区之间来回转换。漏源极之间有寄生二极管,漏源极间加反向电压时导通。

自对准工艺原理,后做栅会出现什么后果 微电子技术中利用元件、器件结构特点实现光复印自动对准的技术。早期的 MOS集成电路采用的是铝栅工艺,首先在硅单晶片上热氧化生长一层二氧化硅膜,经第一次光刻,在二氧化硅膜上刻蚀出源和漏扩散窗口,用扩散法形成源和漏扩散区(1a),接着在硅片上形成新的二氧化硅层;再经过第二次光刻,刻蚀出栅区,生长栅氧化层;然后,经光刻刻出引线孔,完成蒸铝和刻铝等后工序;最后形成MOS晶体管。因为栅区必须在源和漏扩散区正中间,并需要稍覆盖源区和漏区,第二次光刻以及形成铝栅电极的那步光刻,都必须和第一次光刻的位置精确对准(1b)。否则,栅区与源区或漏区就可能衔接不上,使沟道断开(1c),致使MOS晶体管无法工作。因此,设计这类晶体管时往往让栅区宽度(栅氧化膜及其上的铝栅电极两者)比源和漏扩散区的间距要大一些,光刻时使栅区的两端分别落在源和漏扩散区上并有一定余量,由此便产生了较大的栅对源、漏的覆盖电容,使电路的开关速度降低。

#栅氧化层的原理有什么作用

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