氢氟酸与二氧化硅发生反应，生成四氟化硅气体和水，该反应的化学方程式为 4HF+SiO2=SiF4+2H2O
四氟化硅制取硅酸钠的化学方程式 为Na2SiO3 1.Na2SiO3+CO2+H2O=Na2CO3+H2SiO3(沉淀)2.SiO2+4HF=SiF4+2H2O
关于硅的化合物的化学反应方程式 Si3N4+12HF=3SiF4+4NH33SiF4+2N2+6H2=Si3N4+12HF
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