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椭圆偏振法测量薄膜厚度 小于10nm的SiO2薄膜厚度怎样准确测量?

2021-04-04知识4

椭圆偏正光法测薄膜厚度

如何测量几微米厚度的的东西,或者更薄? 比如说对手机薄膜的测量,或者是液晶薄层的测量 等 2 项收录 作为一个做微纳的科研狗,看到微米量级的感觉是太太太大了呀!还是先从题主的问题开始。http://www. leaderwe.com

椭圆偏振和反射法测试膜厚方法的区别 选用Si3N4薄膜和Zr O薄膜两种光学材料作为测试对象以研究椭圆偏振法测量薄膜厚度的精度。实验结果表明,椭圆偏振法的精度较高,但对于。

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