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背散射的能量宽度 电子束入射固体样品表面会激发哪些信号?它们有哪些特点和用途

2020-12-31知识6

最低0.27元/天开通文库会员,可在文库查看完整内容>;原发布者:笑夫子小吴主要优点:放大倍数大、制样方便、分辨率高、景深大等目前广泛应用于材料、生物等研究领域扫描电子显微镜的成象原理和光学显微镜、透射电子显微镜均不同,它不是以透镜放大成象,而是以类似电视摄影显象的方式、用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发产生的某些物理信号来调制成象,近年扫描电镜多与波谱仪、能谱仪等组合构成用途广泛的多功能仪器。2018/10/14HPU-LQ1第一节电子束与固体样品相互作用如图,当高能电子束轰击样品表面时,由于入射电子束与样品间的相互作用,99%以上的入射电子能量将转变成热能,其余约1%的入射电子能量,将从样品中激发出各种有用的信息,它们包括:2018/10/14HPU-LQ2一、二次电子二次电子是被入射电子轰击出来的核外电子,它来自于样品表面100?左右(50~500?)区域,能量为0~50eV,二次电子产额随原子序数的变化不明显,主要决定于表面形貌。2018/10/14HPU-LQ3二、背散射电子是指被固体样品原子反弹回来的一部分入射电子,它来自样品表层0.1~1m深度范围,其能量近似于入射电子能量,背散射电子产额随原子序数的增加而增加,如图。利用背散射电子作为成象信号不仅能。

背散射的能量宽度 电子束入射固体样品表面会激发哪些信号?它们有哪些特点和用途

背散射分析的原理 背散射分析中,入射离子同靶原子核发生的是弹性碰撞过程,利用能量守恒定律和动量守恒定律即可导出背散射离子能量E1式中m、M分别为入射离子和靶原子的质量;E为入射离子在碰撞前的瞬时能量,若碰撞发生在靶表面,则E就是入射离子的初始能量 E0;θ为实验室坐标系中的散射角(图1)。k常称为背散射运动学因子。对确定种类、能量的入射离子和确定的散射角,散射离子能量决定于靶原子的质量,靶原子质量愈大,背散射离子能量也愈大。因此从背散射能谱可以确定靶物质中所含元素的种类。入射离子在靶物质内除因同靶核的库仑相互作用而损失能量外,在射入和射出靶物质的路径上也要损失能量,这就是电离能量损失,通常用阻止本领表示,x为离子运动的距离。由于这个物理过程,使得探测到的对同种原子核的背散射的出射离子能量,与发生背散射的深度有关,发生在靶内深度为t的能量E2要比发生在表面的能量 kE0小。如靶面法线与入射束和散射束方向的夹角分别为θ1和θ2(图2),则kE0与E2的差ΔE为,上式中的第一项同入射离子在入射路径上的电离能量损失有关,第二项则是背散射离子在出射路径上的能量标度转变为靶物质的深度坐标,因此分析背散射能谱可得靶内原子深度分布。从背散射。

背散射的能量宽度 电子束入射固体样品表面会激发哪些信号?它们有哪些特点和用途

二次电子包括俄歇电子和光电子吗?他们三者都有啥区别呀? 二次电子通常是与背散射电子(又称一次电子)相对应,分别用于SEM中的形貌衬度像(SE)和原子序数衬度像…

背散射的能量宽度 电子束入射固体样品表面会激发哪些信号?它们有哪些特点和用途

哪些对应入射电子? ①背散射电子。背散射电于是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。背散射电子的产生范围深,由于背散射电子的产额。

扫描电镜标尺50μm是多少倍? 只知道标尺无法知道放大倍数。拿尺子量一下标尺,用尺子上的刻度除以标尺的刻度就是放大倍数。例如尺子量出标尺长10mm,标尺上标称10um,那么放大倍数就是10mm/10um就是。

二次电子是怎样产生的?其特征是?二次电子的像衬度取决于什么因素

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