来源 :极果网
11月17日,据中国台湾媒体报道,台湾地区全球第一大芯片代工企业台积电已经与ASML签订合同,将在2021年购买超过13台EUV光刻设备,这意味着,台积电获得了ASML年度EUV光刻设备产量的一半(ASML每年生产EUV光刻设备在25或26台)。
ASML是世界上唯一的EUV光刻设备生产商,每台设备的成本约为1500亿韩元(约合人民币8.9亿)。去年10月,三星电子副董事长李在镕飞到埃恩霍温与ASML首席执行官会面,要求提前交付该公司订购的EUV设备。
据一位半导体业内人士称,台积电购买的EUV设备越多,留给三星电子的就越少。到2021年底,台积电将拥有50多台EUV光刻设备,这意味着这家台湾芯片制造商将比三星多出大约20块芯片。
台积电之所以提前购买EUV光刻设备,是因为它正忙于应付7-nm和5-nm产品的急单。如果一家公司将7-nm或7-nm以下芯片的生产外包给台积电,则需要等待一年左右才能收到成品。
据了解,三星电子不仅决定在铸造工艺中使用EUV光刻设备,还决定在DRAM产品中使用EUV光刻设备。其目的是利用EUV光刻设备在存储半导体和系统半导体生产中建立规模经济。而台积电占有ASML50%的EUV光刻设备,将在DRAM和NAND闪存与系统半导体相结合的封装方面,比三星电子更占优势。