台积电作为全球领先的半导体厂商，现在有外媒报道称其正在大规模购买EUV光刻机，以此来保持其在业界的领先地位。
根据TOMSHARDWARE报道，台积电表示其部署的极紫外光(EUV)光刻工具已占全球安装和运行总量的50%左右，这意味着其使用的EUV机器数量超过了业内其他任何一家公司。
为了保持领先，台积电已经下单订购了至少13台ASML的TwinscanNXEEUV光刻机，将会在2021年全年交付，不过具体的交付和安装时间表尚不清楚。
同时，明年台积电实际需求的数量可能是高达16到17台EUV光刻机。
当然台积电不是唯一采购大量EUV光刻机的半导体制造商，现在三星为了争夺更多的半导体订单，正在扩大EUVL工艺在生产上的应用，三星半导体也提高了基于EUV工艺的DRAM的生产，这也将使三星会更多的采用TwinscanNXE光刻机。
