俄歇电子能谱的基本原理 物理原理：入射电子束和物质作用，可以激发出原子的内层电子形成空穴。外层电子填充空穴向内层跃迁过程中所释放的能量，可能以X光的形式放出，即产生特征X射线，也可能又使核外另一电子激发成为自由电子，这种自由电子就是俄歇电子。俄歇电子和X射线产额入射电子束和物质作用，可以激发出原子的内层电子。外层电子向内层跃迁过程中所释放的能量，可能以X光的形式放出，即产生特征X射线，也可能又使核外另一电子激发成为自由电子，这种自由电子就是俄歇电子[1]。对于一个原子来说，激发态原子在释放能量时只能进行一种发射：特征X射线或俄歇电子。原子序数大的元素，特征X射线的发射几率较大，原子序数小的元素，俄歇电子发射几率较大，当原子序数为33时，两种发射几率大致相等。因此，俄歇电子能谱适用于轻元素的分析。如果电子束将某原子K层电子激发为自由电子，L层电子跃迁到K层，释放的能量又将L层的另一个电子激发为俄歇电子，这个俄歇电子就称为KLL俄歇电子。同样，LMM俄歇电子是L层电子被激发，M层电子填充到L层，释放的能量又使另一个M层电子激发所形成的俄歇电子。
X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和紫外光电子能谱法中，只能将外层价层电子激发的是______。 A．X射线光电子能 C
光电子能谱的分类 根据光源的不同，光电子能谱可分为：1、紫外光电子能谱UPS（Ultroviolet Photoelectron Spectrometer）；2、X射线光电子能谱XPS(X-Ray Photoelectron Spectrometer）3、俄歇电子能谱AES(Auger Electron Spectrometer)。X射线光电子能谱法：用来（定性）分析原子在化合物中的价态，和化合形态。仪器简单，光谱解析简单。紫外光电子能谱法：分析价层轨道里的电子的能量和作用。可以获得很多关于分子的稳定性，反应性等信息。但是由于电子的跃迁和振动能级有作用，和分子对称性相关极为紧密。图谱解析复杂。仪器要求较高。Auger电子能谱法：属于二次电子能谱法。多用于对固体，或凝聚态物质进行元素和价态的分析。图谱简单，仪器要求较高。常用来和X射线光电子能谱，荧光光谱，互补联合使用。
为什么说俄歇电子能谱分析是一种表面分析方法，且空间分辨率高？ 大多数元素在50~1000eV能量范围内都有产额较高的俄歇电子，它们的有效激发体积（空间分辨率）取决于入射电子束的束斑直径和俄歇电子的发射深度。能够保持特征能量（没有。
