椭偏仪测量膜厚时，为什么不采用多点测量的方法来检测膜厚均匀度？ 这是因为采用多点测量的方法来检查膜厚的均匀度，当会造成一定的误差，这种误差是不足以控制到了。
用椭偏仪测薄膜厚度和折射率是对薄膜有何要求 椭圆偏振2113光法测定介质薄膜的厚5261度和折射率在现代科学技术4102中，薄膜有着广泛的应用。因此测1653量薄膜的技术也有了很大的发展，椭偏法就是70年代以来随着电子计算机的广泛应用而发展起来的目前已有的测量薄膜的最精确的方法之一。椭偏法测量具有如下特点：能测量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2个数量级。是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其它精密方法：如称重法、定量化学分析法简便。可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数。因此可以作为分析工具使用。对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感。是研究表面物理的一种方法椭偏仪的光路图椭偏仪的基本原理入射光的P分量入射光的S分量反射光的P分量和S分量的比值—椭圆参量r=RP/Rs=tanyexp(iD)=f(n1，n2，n3，f1，d，l）
最低0.27元开通文库会员，查看完整内容>；原发布者：just爱you无悔椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验报告组别：69组院系：0611姓名：林盛学号：PB06210445实验题目：椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验目的：了解椭偏仪测量薄膜参数的原理，初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。实验原理：椭圆偏振光经薄膜系统反射后，偏振状态的变化量与薄膜的厚度和折射率有关，因此只要测量出偏振状态的变化量，就能利用计算机程序多次逼近定出膜厚和折射率。参数描述椭圆偏振光的P波和S波间的相位差经薄膜系统关系后发e69da5e887aae799bee5baa6e997aee7ad9431333433623766生的变化，描述椭圆偏振光相对振幅的衰减。有超越方程：为简化方程，将线偏光通过方位角的波片后，就以等幅椭圆偏振光出射，；改变起偏器方位角就能使反射光以线偏振光出射，公式化简为：这时需测四个量，即分别测入射光中的两分量振幅比和相位差及反射光中的两分量振幅比和相位差，如设法使入射光为等幅椭偏光，则；对于相位角，有：因为入射光连续可调，调整仪器，使反射光成为线偏光，即=0或（），则或，可见只与反射光的p波和s波的相位差有关，可从起偏器的方位角算出.对于特定的膜，是定值，只要改变入射光两分量的相位差，。
用椭偏仪测薄膜的厚度和折射率时，对角度有何要求 会。纳米级的薄膜会有纳米尺寸效应，导致材料性质大变。折射率会变，我看过一篇文献，讲的大致内容是椭偏仪测金属薄膜厚度（纳米），虽然能测，但是测不准，因为纳米级金属。
椭偏仪检测的是光学厚度吗？ 激光椭偏仪可测量纳米薄膜的层构特性（如，膜层厚度）和物理特性（如，在激光波长下的折射率n、消光系数k，或介电函数）。激光椭偏仪最常用的场合是测量单层膜样品，可同时测量两个未知参数，如折射率n和膜厚th。也可测量多膜层中的两个未知参数。北京量拓科技有限公司
