半导体外延生长有哪些方式？ 外延(Epitaxy，简称Epi)工艺是指在单晶衬底上生长一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料，外延层可以是同质外延层(Si/Si)，也可以是异质外延层(SiGe/Si 或SiC/Si等)；同样实现外延生长也有很多方法，包括分子束外延(MBE)，超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)，常压及减压外延(ATM&RP Epi)等等。本文仅介绍广泛应用于半导体集成电路生产中衬底为硅材料的硅(Si)和锗硅(SiGe)外延工艺。根据生长方法可以将外延工艺分为两大类(表1)：全外延(Blanket Epi)和选择性外延(Selective Epi，简称SEG)。工艺气体中常用三种含硅气体源：硅烷(SiH4)，二氯硅烷(SiH2Cl2，简称DCS)和三氯硅烷(SiHCl3，简称TCS)；某些特殊外延工艺中还要用到含Ge和C的气体锗烷(GeH4)和甲基硅烷(SiH3CH3)；选择性外延工艺中还需要用到刻蚀性气体氯化氢(HCl)，反应中的载气一般选用氢气(H2)。外延选择性的实现一般通过调节外延沉积和原位(in-situ)刻蚀的相对速率大小来实现，所用气体一般为含氯(Cl)的硅源气体DCS，利用反应中Cl原子在硅表面的吸附小于氧化物或者氮化物来实现外延生长的选择性；由于SiH4不含Cl原子而且活化能低，一般仅应用于低温全外延工艺；而另外一种常用硅源TCS蒸气压低，在常温下呈液态，需要通过H2鼓。
三氯硅烷的完全水解产物是什么？ CH3SiCl3一甲基三氯硅烷+H2O=CH3SiCl2(OH)+HCl三氯硅烷的完全水解产物是：HSi(OH)3
氯甲烷是什么东西？有什么特性？是氯甲烷还是氯钾烷？
一氯甲烷
氯甲烷是什么东西？有什么特性？是氯甲烷还是氯钾烷？ 氯甲烷结构式中文名称：5261 氯甲烷 4102英文名称：chloromethane 1653中文名称2：甲基氯 英文名称2：methyl chloride CAS No.：74-87-3 分子式：CH3Cl 分子量：50.49理化特性主要成分：含量≥99％。外观与性状：无色气体，有醚样的微甜气味。熔点(℃)：-97.7 沸点(℃)：-23.7 相对密度(水=1)：0.92 相对蒸气密度(空气=1)：1.78 饱和蒸气压(kPa)：506.62(22℃)燃烧热(kJ/mol)：685.5 临界温度(℃)：143.8 临界压力(MPa)：6.68 辛醇/水分配系数的对数值：0.95 引燃温度(℃)：632 爆炸上限%(V/V)：19.0 爆炸下限%(V/V)：7.0 溶解性：易溶于水、乙醇、氯仿等。制取方法：CH4+Cl2=光照=CH3Cl+HCl 氯甲烷(methyl chloride，choromethane，CH3Cl)，又名甲基氯，为无色易液化的气体，加压液化贮存于钢瓶中。具乙醚气味和甜味。分子量50.49，液体密度0.92g/cm3(20/4℃)，气体密度1.785g/L，沸点-23.76℃。微溶于水，易溶于氯仿、乙醚、乙醇、丙酮。不易燃烧和爆炸。无腐蚀性。高温时(400℃以上)和强光下分解成甲醇和盐酸，加热或遇火焰生成光气。氯甲烷结构式中文名称：氯甲烷英文名称：chloromethane中文名称2：甲基氯英文名称2：methyl chlorideCAS No.：74-87-3。
一氯甲烷 氯甲烷又名甲基氯，为无色易液化的气体来，加压液化贮存于钢瓶中。属有机卤化物。微溶于水，易溶于氯仿、乙醚、乙醇、丙酮。易燃烧、易爆炸、中度危害（毒物危害指数43）。无腐蚀性。高温时(400℃以上)和强光下与水反应甲醇和盐酸，加热或遇火焰生成光源气。2017年10月27日，世界卫生组织国际癌症研究机构公布的致癌物清单初步整理参考，氯甲烷在3类致癌物清单中。扩展资料：氯甲烷作用用途1、用于生产甲基2113氯5261硅烷、四甲基铅、甲基纤4102维素等，少量用于生产季铵化合物、农药，在异丁橡胶生产中用作溶剂2、有机合成的重要原料。主要用来生产有机硅化合物-甲基氯硅烷，以及甲基纤维素。还广泛用作溶剂、提取剂、推进剂、致冷剂、局部麻醉剂、甲基化试剂，用于生产农药、医药、香料等。全世界生产的氯甲烷中，约80%用来生产甲基氯硅烷和四甲基铅，但由于汽油中的抗爆化合物正逐渐由无铅1653物代替，因此四甲基铅的消费逐渐下降。3、主要用作有机硅的原料，也用作溶剂、冷冻剂、香料等。参考资料来源：-氯甲烷
甲基三氯硅烷的简称 甲基三氯硅烷 1.物质的理化常数：国标编号 32186 CAS号 75-79-6 中文名称 甲基三氯硅烷 英文名称 methyltrichlorosilane；methyl silicochloroform 别 名 甲基硅仿；。
甲硅烷的性质 碳和硅的性质相似。碳的最2113简单的氢化物为甲烷，硅的5261最简单的氢化物为甲硅4102烷（SiH4)。甲硅烷是1653一种无色无味的气体（其密度比空气大），不易溶于水，其化学性质比甲烷活泼。在实验室里制取甲硅烷的方法是：将白净的细沙（SiO2)与镁粉混合起来，灼烧反应物转变为灰黑色的硅化镁（Mg2Si)和白色的氧化镁后冷却到室温，然后取一定量的灼烧后的残留物，置于制取甲硅烷的装置中，滴加稀盐酸后立即有甲硅烷气体逸出，并迅速地自燃。
