绝缘性金属氮化铪薄膜可以采用磁控溅射方法制备吗 PVD(物理气象沉积),用活泼金属靶(Al)、CVD(化学气象沉积)一般磁控溅射方法制备绝缘材料的薄膜有两种方法,靶材容易破裂。化学气象沉积,溅射功率高。物理气象沉积,用陶瓷靶(绝缘靶)溅射,缺点是溅射速率慢,在溅射过程中充入适量
二硫化氟 是什么啊, (化学式:HfO2)是最常见的铪化合物之一。性质 白色或灰色粉末。不溶于水、盐酸和硝酸和其他一般无机酸,在氢氟酸中缓慢溶解生成氟铪酸盐。与热浓硫酸或硫酸氢盐作用生成。
钛金是什么颜色
绝缘性金属氮化铪薄膜可以采用磁控溅射方法制备吗 PVD(物理气象沉积),用活泼金属靶(Al)、CVD(化学气象沉积)一般磁控溅射方法制备绝缘材料的薄膜有两种方法,靶材容易破裂。化学气象沉积,溅射功率高。物理气象沉积,用陶瓷靶(绝缘靶)溅射,缺点是溅射速率慢,在溅射过程中充入适量
二硫化氟 是什么啊, (化学式:HfO2)是最常见的铪化合物之一。性质 白色或灰色粉末。不溶于水、盐酸和硝酸和其他一般无机酸,在氢氟酸中缓慢溶解生成氟铪酸盐。与热浓硫酸或硫酸氢盐作用生成。
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