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磁控法氧化硅 常用的物理镀膜方法有几种

2020-10-03知识15

固体物理在纳米材料中的应用,能带是怎么推。 由于纳米微粒的小尺寸效应、表面效应、量子尺寸效应和宏观量子隧道效应等使得它们在磁、光、电、敏感等方面呈现常规材料不具备的特性。因此纳米微粒在磁性材料、电子材料、。

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在真空镀膜中`AR表示什么` 真空镀膜:一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术用于生产激光唱片(光盘)上的铝镀膜和由掩膜在印刷电路板上镀。

磁控法氧化硅 常用的物理镀膜方法有几种

非晶硅 单晶硅 多晶硅 氧化硅 氮化硅 之间区别和联系 硅化物,是化合物,由硅和其它元素组成、像氧化硅、氮化硅。而非晶硅、单晶硅、多晶硅是纯度很高的硅(6个9以上),属于单质。名 称:单晶硅 英文名:monocrystalline 。

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帮忙翻译(不要在线翻译的)追加高分 首先,聚晶金刚薄膜是依仗高能微波等离子在硅片(100)上的化学气相沉积技术(10)而产生的。接下来,将铂金膜沉积到这层菱形薄膜上,并通过其自聚效应(11,12)分离为纳米尺寸的微粒并互相重组。然后,这些分散的铂金微粒扮演了蚀刻过程中防护面具的角色,从而通过氧离子(13)制作出纳米结构的钻石。菱形薄膜完成等离子浸蚀之后,使用王酸将这些铂金纳米颗粒从样本表面移除。最后,再次通过化学气相沉积使钻石再生,从而形成外形美观,就像三棱镜一般的钻石棒状纳米结构,其中每一个都是独立的晶体。以上一系列程序类似于Ando et al(3)报告中的程序。图1显示了扫描电子显微镜(SEM)下的典型的纳米棒的图片。这种单晶菱形棒状结构的最上层表面与(100)及(110)型钻石的断面类似。通过改变某一工序的状态,例如改变其过生长周期,就可以在20-300nm(纳米)范围内轻松控制顶层刻面的尺寸(按边缘长度计算)。最上层的(100)型刻面有4个倾斜的(110)型刻面与其相对,而(110)型刻面则被2个倾斜的(100)型刻面和2个(111)型刻面所包围。2.2 二氧化钛薄膜的沉积及结构特征如此构成的菱形纳米棒被用作我们接下来要介绍的二氧化钛薄膜进行低能微粒沉积的纳米基板。

#固体物理#真空镀膜#纳米#离子镀

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