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光刻 \湿刻\干法刻蚀有何不同 四氟化碳刻蚀硅化学式

2020-10-02知识7

我想要点二氧化硅原料,能从我们身边的自然界里找点吗 (1)SiO2广泛存在自然界中,其用途也非常广泛,可用于制造光导纤维,也用于生产半导体材料硅,碳能与二氧化硅反应生成硅单质,化学反应方程式:SiO2+2C═Si+2CO↑,二氧化硅能与氢氟酸反应生成四氟化硅气体,用于刻画玻璃,化学反应方程式:SiO2+4HF=SiF4↑+2H2O,(1)光导纤维;SiO2+2C═Si+2CO↑;SiO2+4HF 高温.SiF4↑+2H2O;刻蚀玻璃.(2)检验溶液中Fe3+存在通常用KSCN溶液,取少量溶液与试管中,滴加KSCN溶液,溶液呈血红色,说明Fe3+存在;铜与氯化铁反应生成氯化铜、氯化亚铁,反应的离子方程式为:2Fe3+Cu=Cu2+2Fe2+故答案为:KSCN溶液;溶液呈血红色;2Fe3+Cu=Cu2+2Fe2+.

光刻 \\湿刻\干法刻蚀有何不同 四氟化碳刻蚀硅化学式

纯氧是什么 纯氧分子式:O2 性质:纯度≥99.995%。尘埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L,杂质含量N2≤10 cm3/m3,Ar≤5cm3/m3,H2O≤lcm3/m3,CO2≤0.5cm3/m3。。

光刻 \\湿刻\干法刻蚀有何不同 四氟化碳刻蚀硅化学式

光刻 \\湿刻\干法刻蚀有何不同 呵呵,我以前在半导体做2113了两年啊!懂一点5261点吧!以前我在的是蚀刻4102区!半导体1653制蚀刻(Etching)(三)蚀刻(Etching)蚀刻的机制,按发生顺序可概分为「反应物接近表面」、「表面氧化」、「表面反应」、「生成物离开表面」等过程。所以整个蚀刻,包含反应物接近、生成物离开的扩散效应,以及化学反应两部份。整个蚀刻的时间,等于是扩散与化学反应两部份所费时间的总和。二者之中孰者费时较长,整个蚀刻之快慢也卡在该者,故有所谓「reaction limited」与「diffusion limited」两类蚀刻之分。1、湿蚀刻最普遍、也是设备成本最低的蚀刻方法,其设备如图2-10所示。其影响被蚀刻物之蚀刻速率(etching rate)的因素有三:蚀刻液浓度、蚀刻液温度、及搅拌(stirring)之有无。定性而言,增加蚀刻温度与加入搅拌,均能有效提高蚀刻速率;但浓度之影响则较不明确。举例来说,以49%的HF蚀刻SiO2,当然比BOE(Buffered-Oxide-Etch;HF:NH4F=1:6)快的多;但40%的KOH蚀刻Si的速率却比20%KOH慢!湿蚀刻的配方选用是一项化学的专业,对于一般不是这方面的研究人员,必须向该化学专业的同侪请教。一个选用湿蚀刻配方的重要观念是「选择性」(selectivity),意指进行蚀刻时。

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氟是怎样发现的? 【氟的发现】氟在地壳的存量为0.072%,克拉克值0.0625,存在量的排序数为12,自然界中氟主要以萤石(Fluorite)存在,其主要成分为氟化钙(CaF2)、冰晶石(3NaF.AlF3)及以氟磷酸钙。

全氟烷烃是干什么用的

纯氧是什么 高纯氧 2113high purity oxygen 分子式:O2 性质:纯度≥526199.995%。尘埃(φ≥0.5μm)≤41023.5粒/L,1653杂质含量N2≤10 cm3/m3,Ar≤5cm3/m3,H2O≤lcm3/m3,CO2≤0.5cm3/m3。无色无臭无味气体。氧不可燃,但助燃。相对密度ds(21.1℃,空气=1)1.105。气体密度1.326kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液体密度1141kg/m3(-182.96℃)。沸点-182.96℃。熔点-218.78℃。大部分商品氧都是由空气分离制造的。即将空气液化后经精馏提纯。也可采用低温全精馏法。少量氧采用电解氧为原料,经催化脱氢可制取纯度为99.99%以上的高纯氧。其他纯化方法有变压吸附法和膜分离法。高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;干法氧化;与四氟化碳混合,用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质;在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。

#蚀刻#氢氟酸

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